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濺射靶材應(yīng)用半導(dǎo)體芯片中鉭靶材在中國發(fā)展迅速

濺射靶材是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)重要的金屬靶材,隨著中國經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,中國半導(dǎo)體芯片技術(shù)也在快速發(fā)展,芯片制造廠商如英特爾、臺積電、中芯國際、意法半導(dǎo)體等國際大廠陸續(xù)在中國建立工廠,但制備芯片的關(guān)鍵半導(dǎo)體用Al、Ti、Cu、Ta、W等金屬靶材仍然主要依賴進(jìn)口。特別是12英寸鉭靶材幾乎全部依賴進(jìn)口,這使中國的芯片自給安全存在重大隱患。

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對于目前國際社會競爭實力來說,芯片或集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,是衡量一個國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標(biāo)志,近年來,中國芯片產(chǎn)業(yè)每年進(jìn)口額遠(yuǎn)超石油,高達(dá)2000億美元以上,高度依賴進(jìn)口。中國很多經(jīng)濟(jì)學(xué)家也看到中國濺射靶材市場存在的問題,也積極改善和提高國內(nèi)濺射靶材企業(yè)生產(chǎn)技術(shù)實力。

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中國許多金屬靶材生產(chǎn)公司,只有堅持創(chuàng)新驅(qū)動,在鉭、鈮、鈹及其合金和特種金屬靶材等技術(shù)領(lǐng)域不斷提高科研實力,建設(shè)公司完整的鉭冶煉加工生產(chǎn)線,不僅可生產(chǎn)高品級鉭粉和制備超高純鉭錠,還可穩(wěn)定供應(yīng)8寸鉭靶坯及擁有12寸鉭靶坯的制造技術(shù)。雖然中國許多公司在金屬靶材研發(fā)上實現(xiàn)了許多成果,但是與國際巨頭濺射靶材公司有非常大的差距。


另外,濺射靶材應(yīng)用半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中,對于物理氣相沉積(PVD)是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的工藝之一,濺射靶材作為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵耗材目前也主要依賴進(jìn)口,這對任何一個國家來說都是存在安全問題,所以中國許多經(jīng)濟(jì)學(xué)家都希望政府能大力推進(jìn)半導(dǎo)體鉭靶材國產(chǎn)化,這樣可以提高企業(yè)的技術(shù)實力又可以減少國家安全問題。

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目前濺射靶材應(yīng)用半導(dǎo)體芯片中鉭靶材在中國發(fā)展迅速,但是中國半導(dǎo)體濺射靶材領(lǐng)域缺少頂層設(shè)計,還沒有一個國家或全行業(yè)層面的聯(lián)盟或協(xié)會來聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè),實現(xiàn)包含鉭靶坯制造商、鉭靶材制造商、芯片制造商的上下游聯(lián)合體;同時,國外同行形成的技術(shù)及產(chǎn)業(yè)鏈壁壘,給鉭靶材國產(chǎn)化造成了極大的技術(shù)障礙,而國產(chǎn)化半導(dǎo)體靶材仍處于入門階段,還不具備市場競爭力。


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