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ELEGRIP TAPE貼背研磨膠帶材料

ELEGRIP TAPE貼背研磨膠帶被用于在對晶圓的背面進(jìn)行研削(貼背研磨)時,保護(hù)電路面以回避外界異物所造成的損傷,崩裂、裂紋(開裂)以及臟污等的污染。隨著晶圓的大口徑化、薄型化以及高凸塊設(shè)計(jì)的開發(fā),對膠帶所要求的主要特點(diǎn)為:①低污染、②對晶圓的追從性、③容易剝離這些方面。ELEGRIPTAPE滿足這些要求事項(xiàng),再加上由于它是非水溶性型,耐水環(huán)境,不需要進(jìn)行清洗。

特點(diǎn)

  • 對電路面等凸凹的晶圓具有優(yōu)良的粘附性

  • 防止塵埃的發(fā)生

  • 對背面進(jìn)行研削時,對水環(huán)境具有超群的研削精度(TTV)

  • 具有優(yōu)良的易剝離性

  • 抑制粘附力隨時間的變化

貼背研磨膠帶材料

貼背研磨膠帶材料